高纯氙
高纯氙（GB/T 5828—2006）
技术指标
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项目名称 |
指标 |
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一等品 |
合格品 |
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氙气纯度，10-2 |
≥99.9995 |
≥99.999 |
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氮含量，10-6 |
≤1.5 |
≤2.5 |
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氧（氩）含量，10-6 |
≤0.5 |
≤1.5 |
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氢含量，10-6 |
≤0.5 |
≤0.5 |
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一氧化碳含量，10-6 |
≤0.1 |
≤0.2 |
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二氧化碳含量，10-6 |
≤0.1 |
≤0.3 |
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甲烷含量，10-6 |
≤0.1 |
≤0.3 |
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水分含量，10-6 |
≤1 |
≤2 |
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氪含量，10-6 |
≤1 |
≤2 |
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氧化亚氮含量，10-6 |
≤0.1 |
≤0.2 |
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氟化物含量，10-6 |
≤0.1 |
≤0.5 |
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注：表中纯度和含量均以体积分数表示（V/V）。 |
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包装规格
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气瓶规格 |
2L/4L/8L/10L/40L铝瓶或钢瓶 |
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充装量 |
14±0.5MPa/10MPa |
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阀门 |
QF-21A、QF-21L、QF-2C |
配套减压阀接口型号
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W21.8×14R |
G5/8
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